[发明专利]探针卡装置及其信号传输模块

摘要

本发明公开一种探针卡装置及其信号传输模块，探针卡装置包含转接板、位于转接板一侧的定位座体、及设置于定位座体的多个矩形探针。转接板包含有多个电性接点，每个矩形探针包含有穿出定位座体的第一接触段与第二接触段，多个矩形探针的第一接触段分别抵接于多个电性接点。每个第一接触段与相对应电性接点的连接为凹凸配合且能在相对位移量(10微米以下)内保持接触，以使每个第一接触段与相对应电性接点的相对位置能在相对位移量内被调整，而令多个矩形探针的第二接触段末端缘彼此对齐，借以有效地提升探针卡装置的量测精准度。

主权项

1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：一转接板，包含有一板面及位于所述板面的多个电性接点；一定位座体，对应设置于多个所述电性接点的一侧；以及多个矩形探针，设置于所述定位座体，并且每个所述矩形探针包含有位于相反两侧且穿出所述定位座体的一第一接触段与一第二接触段，并且多个所述矩形探针的所述第一接触段分别抵接于多个所述电性接点；其中，每个所述第一接触段与相对应的所述电性接点之间的连接为凹凸配合且能在一相对位移量内保持彼此接触，以使每个所述第一接触段与相对应所述电性接点的相对位置能在所述相对位移量内被调整，而令多个所述矩形探针的所述第二接触段末端缘彼此对齐；其中，所述相对位移量为10微米以下。