[发明专利]具有三梁音叉的微谐振式压差传感器及压差检测方法在审
| 申请号： | 201711190656.4 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN108195505A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 谢金;刘鑫鑫;陈旭颖;陈冬阳;徐中贵 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01L13/00 | 分类号： | G01L13/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 傅朝栋;张法高 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有三梁音叉的微谐振式压差传感器及压差检测方法。传感器中设有基底、谐振梁、受压力板，压电层、驱动电极、和感应电极。采用三梁音叉作为谐振单元，谐振梁一端与基底相连，另一端与受压力面相连；谐振梁上覆有压电层和驱动电极，利用压电材料的逆压电效应，驱动谐振梁工作在所需振动模态，根据输入气压引起的谐振频率的变化测量压力差；本发明提出了新型的具有三梁式音叉的谐振器设计，基于弹性变形模态提出新型压力感应机制，使谐振器工作在特定谐振模态，具有能量损耗小灵敏度高，呈线性输出的优势；该谐振式压差传感器受加速度影响小，结构简单，在室温下工作，无需真空封装；适用于对气体压力进行测试，易于实现批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振梁 音叉 压差传感器 谐振式 驱动电极 压差检测 压电层 基底 加速度影响 逆压电效应 谐振器设计 变化测量 感应电极 感应机制 能量损耗 气体压力 输入气压 线性输出 谐振单元 谐振模态 谐振频率 新型压力 压电材料 真空封装 振动模态 灵敏度 谐振器 压力板 压力差 压力面 传感器 梁式 模态 测试 驱动 生产 | ||
【主权项】：
1.一种具有三梁音叉的微谐振式压差传感器，其特征在于，设有基底(1)、感应电极(4)、三梁音叉谐振单元(2)和受压力板(3)；基底(1)上开设有用于容纳三梁音叉谐振单元(2)和受压力板(3)的凹槽；三梁音叉谐振单元(2)包括谐振梁(14)、压电层(5)和驱动电极；所述的谐振梁(14)包括两根侧边梁、一根中间梁和两个连接端，三根梁平行连接于两个连接端之间，三根梁上均覆有所述的压电层(5)，每根梁上的压电层(5)上分别覆有独立的驱动电极，中间梁上的驱动电极与两条侧边梁上的驱动电极连接相反的激励源；谐振梁(14)的一个连接端与感应电极(4)相连，另一个连接端与受压力板(3)相连；感应电极(4)固定于所述的凹槽中且两者之间设有绝缘层(12)；谐振梁(14)和受压力板(3)与基底(1)之间具有缝隙，从而使三梁音叉谐振单元(2)和受压力板(3)以感应电极(4)为固定支座在所述凹槽中形成悬臂梁结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711190656.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
