[发明专利]一种面板行业环保型高稳定性新型铜蚀刻液在审
| 申请号： | 201711191066.3 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107761098A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 戈烨铭 | 申请（专利权）人： | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙)32309 | 代理人： | 隋玲玲 |
| 地址： | 214434 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种面板行业环保型高稳定性新型铜蚀刻液，包括如下质量百分比的成分，双氧水5‑30%、果酸1‑7%、氧漂稳定剂0.05‑0.7%、铜离子络合剂0.3‑1%、钼离子络合剂0.1‑0.5%，余量为纯水。蚀刻速率稳定、效果好、无残留。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面板 行业 环保 稳定性 新型 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种面板行业环保型高稳定性新型铜蚀刻液，其特征在于：它包括如下质量百分比的成分：双氧水 5‑30%果酸 1‑7%氧漂稳定剂 0.05‑0.7%过硫酸铵 0.05‑0.5%铜离子络合剂 0.3‑1%钼离子络合剂 0.1‑0.5%余量为纯水。
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