[发明专利]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201711192077.3 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107835477B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波;王喆;董永伟 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R7/02 | 分类号： | H04R7/02;H04R1/28 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智;马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风，包括衬底、第一振膜、第二振膜，第一振膜、第二振膜之间形成了密封腔；背极单元位于密封腔内且与第一振膜、第二振膜构成电容器结构，背极单元上设置有多个贯通其两侧的通孔；其中，在密封腔内填充有粘滞系数小于空气的气体。本发明的MEMS麦克风，通过在密封腔中填充粘滞系数小于空气的气体，可以大大降低两个振膜相对于背极运动时的声阻，从而降低麦克风的噪声。同时，采用低粘滞系数的气体进行填充，使得可以让密封腔中的压力与外界环境的压力一致，避免了由于压差所带来的振膜偏转问题，保证了麦克风的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：衬底；第一振膜、第二振膜，所述第一振膜、第二振膜之间形成密封腔；背极单元，所述背极单元位于密封腔内且与第一振膜、第二振膜构成电容器结构，所述背极单元上设置有多个贯通其两侧的通孔；其中，在所述密封腔内填充有粘滞系数小于空气的气体。
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