[发明专利]一种MEMS陀螺仪标度因数温度补偿方法

摘要

本发明属于测温技术领域，具体涉及一种MEMS陀螺仪标度因数温度补偿方法。在全温范围变化下，采集恒定角速度输入下的陀螺输出与温度传感器输出，建立标度引述得三阶静态温度模型，建立标度因数残差值得一阶动态温度模型确定标度因数残差值，得出标度因数温度动态拟合值，最后得出补偿后的陀螺角速度输出，本方法能够提高全温范围内标度因数补偿效果，大大改善了补偿精度。具体的标度因数温度补偿方法是进行全温动态匀速温变速率后，使得陀螺能经历所有温度状态，再有选择性的选取常用静态温度点进行静态测试。

主权项

1.一种MEMS陀螺仪标度因数温度补偿方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1)在全温范围变化下，采集恒定角速度输入Ω下的陀螺输出V_out与温度传感器输出T；2)建立标度引述得三阶静态温度模型k₀——陀螺标度因数零次项系数；k₁——陀螺标度因数一次项系数；k₂——陀螺标度因数二次项系数；k₃——陀螺标度因数三次项系数；K_SF(T)为三阶陀螺因数拟合值；3)建立标度因数残差值得一阶动态温度模型其中，ΔK_SF(dT/dt)为标度因数残差值；k_T/t为温度标化率一次项拟合系数；4)建立标度因数的温度补偿模型，公式如下：K_SF(T,dT/dt)＝k₀+k₁T+k₂T²+k₃T³‑k_T/t·(dT/dt)其中，K_SF(T,dT/dt)为标度因数温度动态拟合值；5)利用下式确定补偿后的陀螺角速度输出Ω_outΩ_out＝V_out/K_SF(T,dT/dt)。