[发明专利]一种用于重稀土晶界扩渗的生产线及生产方法

摘要

本发明提供一种用于重稀土晶界扩渗的生产线，包括控制单元和与控制单元连接的物料传输系统、单片成型压机、烧结机构、清洗机构、镀膜机构、真空扩渗炉和控制单元；物料传输系统包括第一传输组件、第二传输组件、第三传输组件和第四传输组件；单片成型压机出料口通过第一传输组件与烧结机构进料口连接，烧结机构出料口通过第二传输组件与清洗机构进料口连接，清洗机构出料口通过第三传输组件与镀膜机构进料口连接，镀膜机构进料口通过第四传输组件与真空扩渗炉进料口连接；单片成型压机向烧结机构逐一提供基片，烧结机构烧结基片；清洗机构清洗基片；镀膜机构对基片表面溅射重稀土，形成重稀土层；真空扩渗炉对基片热处理，实现重稀土扩渗。

主权项

1.一种用于重稀土晶界扩渗的生产线，其特征在于，包括物料传输系统、单片成型压机、烧结机构、清洗机构、镀膜机构、真空扩渗炉和控制单元；所述物料传输系统、单片成型压机、烧结机构、清洗机构、镀膜机构和真空扩渗炉分别与所述控制单元连接；所述物料传输系统包括第一传输组件、第二传输组件、第三传输组件和第四传输组件；所述单片成型压机的出料口通过所述第一传输组件与所述烧结机构的进料口连接，所述烧结机构的出料口通过所述第二传输组件与所述清洗机构的进料口连接，所述清洗机构的出料口通过所述第三传输组件与镀膜机构的进料口连接，所述镀膜机构的进料口通过所述第四传输组件与所述真空扩渗炉的进料口连接；所述单片成型压机通过所述第一传输组件向所述烧结机构逐一提供基片，所述烧结机构对所述基片进行烧结；所述第二传输组件将烧结后的基片输送至所述清洗机构，所述清洗机构对所述基片进行清洗；所述第三传输组件将清洗后的基片输送至镀膜机构，所述镀膜机构向所述基片的表面溅射重稀土，形成重稀土层；所述第四传输组件将镀膜后的基片输送至真空扩渗炉，所述真空扩渗炉对所述基片进行热处理，以实现重稀土扩渗；所述烧结机构包括多室连续烧结炉，所述多室连续烧结炉包括除杂室、烧结室、冷却室、第一插板阀、第二插板阀、第三插板阀和移载组件，所述第一插板阀设于所述除杂室的进料口，所述第二插板阀的两端分别与所述除杂室的出料口与所述烧结室的进料口连接，所述第三插板阀的两端分别与所述烧结室的出料口与所述冷却室的进料口连接，所述移载组件用于承载所述基片，并带动所述基片移动，使其依次通过所述除杂室、烧结室与冷却室。