[发明专利]准分子激光处理装置及其激光收集装置有效
| 申请号： | 201711195606.5 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107749554B | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 何伟铭 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/034 | 分类号： | H01S3/034;H01S3/105 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种准分子激光处理装置及其激光收集装置，激光收集装置包括设于激光器出射光路上远离激光器的第一反射镜、设于激光器出射光路上靠近激光器的第二反射镜以及设于激光器出射光路外的第一反射镜组，第一反射镜接收激光器发出的光线并反射至第一反射镜组，经第一反射镜组反射的光线射出至第二反射镜，第二反射镜朝向背离激光器的方向倾斜，将从第一反射镜组射入的光线反射至待激光处理的对象表面。本发明通过在激光器与待激光处理的对象之间设置有对未射到待激光处理的对象表面的激光进行收集的激光收集装置，将未被利用的光线进行收集并再投射到待激光处理的对象表面进行二次利用，提高了激光的光线利用率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 准分子激光 处理 装置 及其 激光 收集 | ||
【主权项】：
1.一种准分子激光处理装置的激光收集装置，其特征在于，包括设于激光器(L)出射光路上远离激光器(L)的第一反射镜(1)与第一副反射镜(1＇)、设于激光器(L)出射光路上靠近激光器(L)的第二反射镜(2)与第二副反射镜(2＇)以及设于激光器(L)出射光路外的第一反射镜组(3)与第二反射镜组(3＇)；第一反射镜(1)、第二副反射镜(2＇)、第一反射镜组(3)位于激光器(L)的出射光路的一侧，第一副反射镜(1＇)、第二反射镜(2)、第二反射镜组(3＇)位于激光器( L) 的出射光路的另一个相对侧；所述第一反射镜(1)、所述第一副反射镜(1＇)设于激光器(L)的出射光的辐射范围边缘，用于接收激光器(L)发出的光线，并分别将接收的光线射出至所述第一反射镜组(3)、第二反射镜组(3＇)，经所述第一反射镜组(3)、第二反射镜组(3＇)反射的光线分别射出至所述第二反射镜(2)、第二副反射镜(2＇)；所述第二反射镜(2)、第二副反射镜(2＇)单面镀反射层，可供激光光线从未镀反射层的背面透过，所述第二反射镜(2)、第二副反射镜(2＇)具有反射层的一面朝向背离激光器(L)的方向倾斜，分别将从所述第一反射镜组(3)、第二反射镜组(3＇)射入的光线反射至待激光处理的对象(P)表面。
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