[发明专利]一种压电电容复合式自供电温度场检测装置

摘要

本发明涉及一种压电电容复合式自供电温度场检测装置，属于智能微机电系统和微能源技术领域，包括上柔性基板，下柔性基板，上绝缘盖板，下绝缘盖板和测温中间层。阵列中每个基本单元测得的点温度通过信息处理可得到检测阵列所覆盖的区域温度场。基本单元通过外界振动采集能量供给测温电容激励能量进行温度检测。基本单元结构包括上电容单元，测温单元，下电容单元。本发明将自供电与温度检测进行复合，对于环境保护，智能传感，能源有效利用方面有十分重要的意义。

主权项

一种压电电容复合式自供电温度场检测装置，其特征在于，包括上柔性基板，上绝缘盖板，测温中间层，下绝缘盖板，下柔性基板；其中，下柔性基板有凹槽，下绝缘盖板镶嵌在该凹槽中，测温中间层与下绝缘盖板卡接，上绝缘盖板嵌入到测温中间层中，上绝缘盖板与上柔性基板卡接；在上绝缘盖板中沉积上电容单元，下绝缘盖板中沉积下电容单元，测温中间层上有测温单元，测温单元上包括测温复合层上电极板、测温复合层、测温复合层下电极板，上电容单元与测温复合层上电极板形成可变电容结构一，下电容单元与测温复合层下电极板形成可变电容结构二，测温复合层上电极板与测温复合层下电极板形成测温电容结构。