[发明专利]一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构在审

专利信息
申请号: 201711201072.2 申请日: 2017-11-27
公开(公告)号: CN109839682A 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 韩崇利 申请(专利权)人: 成都中源红科技有限公司
主分类号: G02B1/14 分类号: G02B1/14;G02B1/115
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610100 四川省成都市*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构,包括基片和高强度保护膜系;所述基片由硫化锌材料制成;所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成;所述膜系依次包括:类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层;所述类金刚石膜层有2‑5层,其厚度为20‑30nm;所述硒化锌膜层有1‑3层,其厚度为10‑20nm;所述硫化锌膜层有5‑8层,其厚度为30‑50nm;本发明通过高强度保护层技术,解决硫化锌窗口的软肋问题,提高了窗口抵抗雨蚀、吹尘等极端环境的能力,扩大硫化锌窗口在高速运动平台上的应用范围;采用多层粘接层技术,提高了保护层与基底结合的牢固度,使粘接层与保护层构成多层减反射膜系结构,有效降低了由于保护层引起的窗口表面的反射损失。
搜索关键词: 保护膜 硫化锌 保护层 红外光学窗口 类金刚石膜层 硫化锌膜层 硒化锌膜层 膜系结构 粘接层 多层减反射膜 硫化锌材料 强度保护层 薄膜材料 窗口表面 反射损失 高速运动 基底结合 极端环境 膜层沉积 牢固度 吹尘 多层 膜系 制备 抵抗 应用
【主权项】:
1.一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构,其特征在于,包括基片和高强度保护膜系;所述基片由硫化锌材料制成;所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成;所述膜系依次包括:类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层;所述类金刚石膜层有2‑5层,其厚度为20‑30nm;所述硒化锌膜层有1‑3层,其厚度为10‑20nm;所述硫化锌膜层有5‑8层,其厚度为30‑50nm。
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