[发明专利]硅片制绒转运装置

摘要

本发明公开了一种能够保证硅片在转运和提升过程中始终保持湿润避免形成水纹印的硅片制绒转运装置。该硅片制绒转运装置，包括安装座，所述安装座上设置有转盘，所述转盘上安装有竖向滑柱，所述竖向滑柱上设置有滑台，所述滑台上设置有第一伸缩装置，所述第一伸缩装置一端与滑台固定连接，另一端设置有支撑臂，所述支撑臂一端与伸缩装置通过转动关节连接；所述支撑臂的另一端的下方设置有第二转盘，所述第二转盘上设置有第二伸缩装置，所述第二伸缩装置的下端设置有夹爪；所述夹爪上设置有喷头，所述支撑臂上设置有增压泵；所述喷头与增压泵连通。采用该硅片制绒转运装置能够避免出现水纹印，保证产品的质量。

主权项

1.硅片制绒转运装置，其特征在于：包括安装座(11)，所述安装座(11)上设置有转盘，所述转盘上安装有竖向滑柱(1)，所述竖向滑柱(1)上设置有滑台(2)，所述滑台(2)上设置有第一伸缩装置(3)，所述第一伸缩装置(3)一端与滑台(2)固定连接，另一端设置有支撑臂(5)，所述支撑臂(5)一端与伸缩装置(3)通过转动关节(4)连接；所述支撑臂(5)的另一端的下方设置有第二转盘(6)，所述第二转盘(6)上设置有第二伸缩装置(7)，所述第二伸缩装置(7)的下端设置有夹爪(8)；/n所述夹爪(8)包括固定板、固定夹爪(81)和动夹爪(82)，所述固定夹爪(81)固定安装在固定板上，所述动夹爪(82)沿固定板的长度方向滑动安装在固定板上；所述固定板上设置有驱动动夹爪(82)沿固定板的长度方向滑动的滑动驱动装置；所述固定夹爪(81)和动夹爪(82)之间形成抓夹区间，所述固定板下表面设置有喷头(9)，所述支撑臂(5)上设置有增压泵(10)；所述喷头(9)与增压泵(10)连通，所述喷头(9)位于抓夹区间内。/n