[发明专利]一种氢气退火炉尾气处理系统及其处理方法有效

专利信息
申请号: 201711203625.8 申请日: 2017-11-27
公开(公告)号: CN108006667B 公开(公告)日: 2020-02-18
发明(设计)人: 闫海莲 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: F23G7/06 分类号: F23G7/06;F23G5/02;F23G5/50
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 周长清
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明涉及一种氢气退火炉尾气处理系统,包括:尾气出气管路、氢气尾气燃烧装置,所述尾气出气管路的一端与反应管连接,另一端与所述氢气尾气燃烧装置连接,还包括用于测量尾气出气管路中的尾气流量和氢气浓度的氢气测量组件、用于测量充入氢气尾气燃烧装置中的氧气流量的氧气流量测量组件、用于接收所述氢气测量组件传输的数据,并根据接收的数据控制所述氧气流量测量组件的氧气流量的智能控制运算端。本发明还公开了一种尾气处理方法,通过测定氢气浓度和尾气气体流量、根据氢气的浓度和流量通适量的氧气,使氢气在燃烧装置内部充分安全燃烧后,排放到大气环境中。本发明具有控制精度高、安全性能好、可靠性能高、结构简单等优点。
搜索关键词: 一种 氢气 退火炉 尾气 处理 系统 及其 方法
【主权项】:
1.一种氢气退火炉尾气处理系统,包括:尾气出气管路(9)、氢气尾气燃烧装置(8),所述尾气出气管路(9)的一端与反应管(2)连接,另一端与所述氢气尾气燃烧装置(8)连接,其特征在于:还包括氢气测量组件、氧气流量测量组件(7)、智能控制运算端(6),所述氢气测量组件用于测量所述尾气出气管路(9)中的尾气流量和氢气浓度,所述氧气流量测量组件(7)用于测量通过氧气进气口(825)充入所述氢气尾气燃烧装置(8)的氧气流量,所述智能控制运算端(6)用于接收所述氢气测量组件传输的数据,并根据接收的数据进行运算并控制所述氧气流量测量组件(7)的氧气流量。
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