[发明专利]一种采用压电单晶箔的固贴型薄膜体声波谐振器及制备方法在审
| 申请号： | 201711203835.7 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN107800396A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 陈培杕;刘敬勇;黄润华;於保伟;程胜军 | 申请（专利权）人： | 中电科技德清华莹电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司33214 | 代理人： | 王晓峰 |
| 地址： | 313200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种采用压电单晶箔制作固贴型薄膜体声波谐振器的技术方案，所述压电单晶箔固贴型薄膜体声波谐振器由具有布拉格声波反射结构层的衬底，上下金属电极夹持压电体形成的三明治有源结构组成，所述压电体是压电单晶箔。本发明的优点有1.压电单晶箔，晶体完整性未被破坏，为完美单晶；2.可以自由选择晶体及其晶向，优化器件性能；3.可以自由选择衬底材料，优化器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 压电 单晶箔 固贴型 薄膜 声波 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种固贴型薄膜体声波谐振器，由具有布拉格声波反射结构层的衬底，上下金属电极夹持压电体形成的三明治有源结构组成，其特征是：所述压电体是压电单晶箔。
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