[发明专利]一种大面积宽带光栅衍射效率测量的方法及装置

摘要

本发明公开了一种大面积宽带光栅衍射效率的测量方法及装置，包括半导体激光器、斩波器、检测光系统、参考光系统和光电探测装置；该装置采用了双光路检测和斩波器将多个波长的半导体激光光源入射到宽带光栅表面，检测光系统采集‑1级衍射光，并通过二维扫描大面积宽带光栅，完成整个待测大面积宽带光栅表面的衍射效率的测量，抑制激光器功率漂移和环境背景光干扰，同时大大提高了检测效率。

主权项

1.一种大面积宽带光栅衍射效率的测量方法，包括如下步骤：1)搭建多波长测试光源的步骤：将若干个不同波长的半导体激光光源安装在可旋转光源支架上，可旋转光源支架由传动机构与驱动电机相连接；2)搭建检测光路的步骤：在光路上依次设置斩波器、分光镜，其中斩波器的透光面积和挡光面积相等，入射光经过分光镜后透射光作为信号光入射到待测大面积宽带光栅表面上，‑1级衍射光进入第一积分球的入窗口，第一积分球的出窗口放置第一光电探测器，入射光经过分光镜后反射光作为参考光，直接进入第二积分球的入窗口，第二积分球的出窗口处放置第二光电探测器，其中待测大面积宽带光栅放置在二维扫描平移台上；3)二维扫描测量步骤：调整可旋转光源支架，将若干不同波长的半导体激光光源中的一个光源入射至斩波器，设置斩波器的通光频率为f，第一光电探测器和第二电探测器的采样频率都为2f；斩波器透光时，第一光电探测器测和第二光电探测器同时对所在位置光强进行测量，斩波器挡光时，第一光电探测器测和第二光电探测器同时对所在位置光强进行测量，通过第一光电探测器测和第二光电探测器分别在斩波器透光时和斩波器挡光时的测试结果求出待测大面积宽带光栅表面上任一点的衍射效率；通过调整二维扫描平移台，在大面积宽带光栅表面上逐点扫描，直到待测大面积宽带光栅口径内所有采样点都被扫描记录；4)驱动电机控制可旋转光源支架旋转，依次切换不同波长的半导体激光光源，重复步骤3)，完成不同波长的半导体激光器光源下的大面积宽带光栅衍射效率的测量。