[发明专利]一种变形镜刚体位移误差测量的方法及装置有效
| 申请号： | 201711207656.0 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109839086B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 赵磊;乔彦峰;莫成钢 | 申请（专利权）人： | 长春长光华大智造测序设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 彭家恩;罗瑶 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种变形镜刚体位移误差测量的方法及装置，方法包括如下步骤：测量连接在变形镜圆周边缘的平面的面形数据，并得出变形镜的刚体位移数据θ |
||
| 搜索关键词： | 一种 变形 刚体 位移 误差 测量 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种变形镜刚体位移误差测量的方法，其特征在于，包括如下步骤：S001：测量连接在变形镜圆周边缘的平面的面形数据，并得出变形镜的刚体位移数据θx和θy；S002：测量变形镜通光区域内的凸面/凹面的面形数据，并得出变形镜的刚体位移整体数据X/θy和Y/θx；S003：根据变形镜的刚体位移数据θx和θy及刚体位移整体数据X/θy和Y/θx，计算出变形镜的变形量X和Y及刚体位移量θx和θy。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春长光华大智造测序设备有限公司，未经长春长光华大智造测序设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711207656.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
