[发明专利]蒸镀装置及其校正方法在审
| 申请号： | 201711209858.9 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109722634A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 许祐霖;林建宏;黄国兴;宋兆峰;赖志明;张宏毅 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吕雁葭 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀装置，包括材料源、腔室、流道以及加热构件。材料源用以提供沉积材料。腔室包括歧管。流道用以连接材料源与腔室。加热构件配置于流道的至少一部分内，用以加热沉积材料。还提供一种蒸镀装置的校正方法。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀装置 流道 腔室 沉积材料 加热构件 材料源 校正 连接材料 歧管 加热 配置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：材料源，用以提供沉积材料；腔室，包括歧管；流道，用以连接该材料源与该歧管；以及加热构件，配置于该流道的至少一部分内，用以加热该沉积材料。
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