[发明专利]五自由度光学镜面加工设备及其工作方法

摘要

本发明公开了一种五自由度光学镜面加工设备及其工作方法，其包括机架、辅助平台、动平台、滑台、设置在滑台和辅助平台之间的第一运动链、第三运动支链、第五运动支链、设置在机架和动平台上端之间的第二运动支链和第四运动支链、刀具驱动电机、刀具、镜面固定与支撑装置。其中动平台上端穿过辅助平台中心，通过虎克铰链和辅助平台连接。辅助平台在第一、三、五运动支链的作用下产生三个方向上的移动自由度，动平台在辅助平台和第二、四运动支链的共同作用下实现了三维平动和二维转动。本发明将并联机构刚度大、精度高的特点运用于光学加工中，提升其加工精度。

主权项

1.一种五自由度光学镜面加工设备，其特征在于：包括机架（1）及由下而上依次设置在其内部的镜面支撑与固定装置（7）、加工刀具（5）、刀具驱动电机（2）、动平台（3）、辅助平台（4）和五个直线滑台，其中，镜面支撑与固定装置（7）位于所述机架（1）的内部底部，五个直线滑台位于机架（1）顶部且平行于机架（1）内部下表面，相邻两直线滑台间成72°角，所述动平台（3）的上端穿过辅助平台（4）的中心与其连接，所述动平台（3）的下端依次固定连接刀具驱动电机（2）和加工刀具（5）；所述五个直线滑台为：第一支链滑台（16）、第二支链滑台（12）、第三支链滑台（13）、第四支链滑台（14）、第五支链滑台（15），其中两个直线滑台通过两条主运动支链与所述动平台（3）连接，另外三个直线滑台通过三条辅助运动支链与所述辅助平台（4）连接。