[发明专利]现场环境下平板平面度测量结果的不确定度确定方法

摘要

本发明涉及一种现场环境下平板平面度测量结果的不确定度确定方法，包含：确定不确定度来源，确定待测量平板尺寸，确定检测设备不确定度，确定平板检测时水平情况并计算其造成的不确定度，确定测量方法造成的不确定度，确定环境震动造成的不确定度，确定测量重复性不确定度，利用不确定度基本原理进行不确定度合成，获得在当前环境下进行平面度检测的不确定度结果。本发明的优点是解决了工作现场大尺寸、无法移动等难以提供良好检测环境的平板的平面度检测结果准确性评估的问题。使用本方法，可显著提升现场平板检测的工作效率，并能够检测一些原来无法检测的平板，且给出量化的结果的可靠性数据。

主权项

1.一种现场环境下平板平面度测量结果的不确定度确定方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：1)确定现场环境下对待测平板平面度测量结果的总不确定度μC的来源；所述现场环境下对待测平板平面度测量结果的总不确定度μC包括现场环境下对待测平板平面度测量结果的B类不确定度分量μB以及现场环境下对待测平板平面度测量结果的A类不确定度分量μA是；所述现场环境下对待测平板平面度测量结果的B类不确定度分量μB包括环境震动引入的不确定度分量、水平情况引入的不确定度分量、测量设备引入的不确定度分量以及测量方法引入的不确定度分量；所述现场环境下对待测平板平面度测量结果的A类不确定度分量μA是测量重复性不确定度分量；2)根据环境震动引入的不确定度分量、水平情况引入的不确定度分量、测量设备引入的不确定度分量以及测量方法引入的不确定度分量计算得到现场环境下对待测平板平面度测量结果的B类不确定度分量μB；根据测量重复性不确定度分量计算得到现场环境下对待测平板平面度测量结果的A类不确定度分量μA；3)根据现场环境下对待测平板平面度测量结果的A类不确定度分量μA以及现场环境下对待测平板平面度测量结果的B类不确定度分量μB计算合成现场环境下对平板平面度测量结果的总不确定度μC。