[发明专利]一种颗粒硅的生产方法及装置有效
申请号: | 201711213248.6 | 申请日: | 2017-11-28 |
公开(公告)号: | CN107792857B | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
发明(设计)人: | 张宝顺;蔡延国;鲍守珍;陈聪;宗冰;王体虎 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 刘锋 |
地址: | 810007 青海省西*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本发明涉及晶体硅制备技术领域,具体而言,涉及一种颗粒硅的生产方法及装置。本发明的实施例中提供的颗粒硅的生产装置包括颗粒硅晶种制备装置、与颗粒硅晶种制备装置连接的颗粒硅晶种筛分装置、与颗粒硅晶种筛分装置连接的颗粒硅制备装置以及与颗粒硅制备装置连接的颗粒硅筛分装置。本发明的实施例中提供的颗粒硅的生产方法采用闭环循环装置加工颗粒硅,使存在影响多晶硅颗粒的纯度及球度的间隙较小,即便有影响多晶硅颗粒的纯度及球度的现象,也会在两次筛分过程中筛分出去,有效地保证颗粒硅的精度及球度,本发明实施例中提供的颗粒硅的生产方法与上述装置采用相同的技术方案,因此也具备上述的有益效果。 | ||
搜索关键词: | 颗粒硅 筛分装置 球度 多晶硅颗粒 晶种制备 制备装置 晶种 制备技术领域 生产 闭环循环 生产装置 装置加工 装置连接 晶体硅 有效地 保证 | ||
【主权项】:
1.一种颗粒硅的生产方法,其特征在于,包括:对多晶硅料进行加工,将所述多晶硅料加热至形成多晶硅液流;将所述多晶硅液流分散为多晶硅液滴;将所述多晶硅液滴冷却为包含非颗粒硅晶种和颗粒硅晶种的第一混合物;得到包含非颗粒硅晶种和颗粒硅晶种的第一混合物;对所述第一混合物进行筛分,将所述非颗粒硅晶种和所述颗粒硅晶种分离;将所述非颗粒硅晶种作为所述多晶硅料,用于加工所述第一混合物;对所述颗粒硅晶种进行加工,所述颗粒硅晶种在物料气的作用下处于流化状态,将温度设置为在300℃至600℃,使所述颗粒硅晶种生成所述颗粒硅;得到包含颗粒硅、所述颗粒硅晶种和所述非颗粒硅晶种的第二混合物;对第二混合物进行筛分,将所述颗粒硅、所述颗粒硅晶种和所述非颗粒硅晶种分离;将所述非颗粒硅晶种作为所述多晶硅料,用于加工所述第一混合物;将所述颗粒硅晶种用于加工第二混合物。
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