[发明专利]一种基于六维调整的反转法直线度测量装置

摘要

本发明涉及一种直线度测量装置，具体地说是一种基于六维重复定位的反转法直线度测量装置，包括六维调整平台、反转平尺和微位移传感器。通过六维调整平台，可以实现反转直线的六维姿态调整；反转平尺两端有直线两点标识球，通过微位移传感器测量直线两点标识球确定反转直线位置，实现反转直线反转前后两次高精度重复定位，进一步实现高精度的直线度误差分离测量。

主权项

一种基于六维调整的反转法直线度测量装置，包括传感器安装臂（1）、传感器安装座（2）、微位移传感器（27）、反转平尺（4）、六维调整平台（5），其特征是，所述微位移传感器（27）安装在传感器安装座上，传感器安装座（25）固定在传感器固定臂（1）上，传感器固定臂（1）安装在被测导轨（8）上，可随被测导轨移动；所述六维调整平台（5）底座由三个支撑脚（53）和三点支撑平台基板（54）组成，其中两个支撑脚对称分布在平台一侧，另一个支撑脚分布在平台另一侧中间；所述六维调整平台（5）主调整体由两个三维微位移台（52）和三个平尺支撑球（51）组成，三维微位移台（52）固定于三点支撑平台基板（54）两侧，两个三维微位移台（52）上基面分别固定1个和2个平尺支撑球（51）；所述反转平尺（4）放置于三个平尺支撑（51）上；反转平尺（4）两端有直线两点标识球（42）。