[发明专利]获取MEMS加速度计的寄生失配电容的方法及装置有效
| 申请号： | 201711215566.6 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108008152B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 董显山;黄钦文;朱军华;恩云飞 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00;G01P15/125 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈金普 |
| 地址： | 510610 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种获取MEMS加速度计寄生失配电容的方法，包括获取MEMS加速度计正常工作时的至少两个预载电压及对应的输出电压；根据所述MEMS加速度计的结构参数、所述预载电压和所述输出电压，获取拟合参数；根据所述结构参数和所述拟合参数，获取所述MEMS加速度计的机械梁弯曲量；根据所述结构参数和所述机械梁弯曲量，获取所述MEMS加速度计的寄生失配电容。本发明还公开了一种获取MEMS加速度计寄生失配电容的装置。通过上述过程，得到MEMS加速度计工作时的寄生失配电容，解决了获取寄生失配电容的传统方法存在测量精度较低的问题，实现了获取寄生失配电容的精度较高且可靠的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 获取 mems 加速度计 寄生 失配 电容 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种获取MEMS加速度计的寄生失配电容的方法，其特征在于，包括步骤：获取MEMS加速度计工作时的至少两个预载电压及对应的输出电压；根据所述MEMS加速度计的结构参数、所述预载电压及对应的输出电压，获取拟合参数；根据所述结构参数和所述拟合参数，获取所述MEMS加速度计的机械梁弯曲量；根据所述结构参数和所述机械梁弯曲量，获取所述MEMS加速度计的寄生失配电容。
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