[发明专利]一种薄膜在线激光测厚系统及方法

摘要

本发明属于非接触式在线测厚领域，并具体公开了一种薄膜在线激光测厚系统及方法，包括大理石框架和设于大理石框架内部的C形架，大理石框架内顶部及底部设置有钢片和导轨；C形架具有上梁和下梁，上、下梁之间放置待测薄膜，上梁上下端部设置第一、第二激光位移传感器，第一、第二激光位移传感器分别用于测量各自发射点到钢片及待测薄膜上表面的距离，下梁上下端部设置第三激光位移传感器和滑块，第三激光位移传感器用于测量待测薄膜下表面到其发射点的距离，滑块与导轨滑动配合，并可沿导轨做来回水平直线运动。所述方法采用所述测厚系统进行厚度测量。本发明可消除测量偏差，提高测量精度，适用于微米级及以下的高精度激光测厚应用场合。

主权项

1.一种薄膜在线激光测厚系统，其特征在于，包括大理石框架(1)和设于该大理石框架(1)内部的C形架(3)，其中：所述大理石框架(1)的内顶部设置有钢片(2)，内底部设置有导轨(9)，该钢片(2)表面抛光并紧贴于大理石框架的内顶部，该导轨(9)沿大理石框架的长度方向设置；所述C形架(3)具有上梁和下梁，并且上梁和下梁之间的区域用于放置待测薄膜(6)，所述上梁的上、下端部分别设置有第一激光位移传感器(4)和第二激光位移传感器(5)，该第一激光位移传感器(4)用于发射激光束至钢片(2)表面以测量钢片到第一激光位移传感器的发射点的距离，该第二激光位移传感器(5)用于发射激光束至待测薄膜(6)的上表面，以测量待测薄膜(6)上表面到第二激光位移传感器的发射点的距离，所述下梁的上、下端部分别设置有第三激光位移传感器(7)和滑块(8)，该第三激光位移传感器(7)用于发射激光束至待测薄膜(6)的下表面，以测量待测薄膜(6)下表面到第三激光位移传感器的发射点的距离，该滑块(8)与所述导轨(9)滑动配合，并在驱动源的作用下沿导轨做来回水平直线运动。