[发明专利]硅片烧结炉内烘干区的传送装置

摘要

本发明公开了一种能够实现硅片短暂悬浮烘干的硅片烧结炉内烘干区的传送装置。所述硅片烧结炉内烘干区的传送装置，包括前后两个驱动辊以及支撑座、传送带、驱动装置；所述传送带为传送网；所述传送带两侧设置有限位挡板，所述传送带上表面的下方设置有喷气装置；所述喷气装置包括储气筒、凸轮驱动装置，所述储气筒具有储气腔，所述储气腔一端的上方设置有出气板，所述出气板上设置有出气孔；另一端设置有活塞；所述活塞一端设置有延伸出储气筒的顶杆，另一端与储气腔的侧壁之间设置有弹簧；所述顶杆的一端设置有凸轮，所述凸轮、顶杆以及活塞构成凸轮机构；所述凸轮通过凸轮驱动装置驱动转动。采用该传送装置能够提高烘干效率，保证烘干效果。

主权项

硅片烧结炉内烘干区的传送装置，其特征在于：包括前后两个驱动辊(1)以及支撑座；所述驱动辊(1)通过支撑座(8)支撑，所述驱动辊(1)上缠绕有传送带(2)，所述传送带(2)为传送网；所述支撑座(8)上设置有驱动驱动辊(1)转动的驱动装置(5)；所述传送带(2)两侧设置有限位挡板(4)，所述传送带(2)上表面的下方设置有喷气装置(3)；所述喷气装置(3)包括储气筒(31)、凸轮驱动装置，所述储气筒(31)具有储气腔(32)，所述储气腔(32)一端的上方设置有出气板(37)，所述出气板(37)上设置有出气孔；另一端设置有活塞(33)；所述活塞(33)一端设置有延伸出储气筒(31)的顶杆(35)，另一端与储气腔(32)的侧壁之间设置有弹簧(34)；所述出气板(37)位于传送带(2)上表面的正下方；所述顶杆(35)的一端设置有凸轮(36)，所述凸轮(36)、顶杆(35)以及活塞(33)构成凸轮机构；所述凸轮(36)通过凸轮驱动装置驱动转动。