[发明专利]一种自动监控产品跑货状况的方法有效

专利信息
申请号: 201711219188.9 申请日: 2017-11-28
公开(公告)号: CN108008707B 公开(公告)日: 2020-02-18
发明(设计)人: 林聪;徐莹;周维;何亮亮 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 俞涤炯
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种能随时调取所述产品批次的数据查看,及时、准确的掌握关键产品批次的跑货状况、DPML信息和工程时间的使用情况的自动监控产品跑货状况的方法。在使用时只需在系统中输入产品批次信息,系统会自动调用制造执行系统,产品批次的实时信息会反馈到该系统中,通过公式计算,即可自动得到并反馈该产品批次的行军图,并可以自动计算并显示实际DPML、剩余DPML、实际工程时间、批次生产时间延迟主要原因等信息,从而及时、准确的掌握关键批次的跑货状况。
搜索关键词: 一种 自动 监控 产品 状况 方法
【主权项】:
1.一种自动监控产品跑货状况的方法,运用于半导体跑货系统,其特征在于:所述半导体跑货系统包括一个以上的站点;所述站点对一个以上批次的产品进行跑货;一个以上的监测器,所述监测器分别连接所述站点;一制造执行系统,制造执行系统连接多个所述监测器;一产品跑货全程监控系统,所述制造执行系统与产品跑货全程监控系统连接;所述自动监控产品跑货状况的方法包括以下步骤:S1设置所述产品跑货全程监控系统的预设数据,所述预设数据包括预设光罩进厂时间、预设作业时间、预设等待时间、预设工程时间、预设出货时间;S2启动一个以上所述站点对产品按批次进行跑货,所述跑货包括进货、作业、等待、工程、出货工艺;S3所述监测器监测到每个站点的产品的实时数据,所述实时数据包括每个批次产品的实时光罩进厂时间、实时作业时间、实时等待时间、实时工程时间、实时出货时间;S4所述监测器将每个站点的每个批次产品的实时光罩进厂时间、实时作业时间、实时等待时间、实时工程时间、实时出货时间的实时数据发送给所述制造执行系统;S5所述产品跑货全程监控系统从制造执行系统中抓取S4步骤中监测到的实时数据;S6所述产品跑货全程监控系统将S1步骤中设置的预设光罩进厂时间、预设作业时间、预设等待时间、预设工程时间、预设出货时间的预设数据和S4步骤中监测到的每个站点的实时光罩进厂时间、实时作业时间、实时等待时间、实时工程时间、实时出货时间的实时数据经后台计算后,形成行军图。
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