[发明专利]用于ESD防护的可控硅整流器有效
申请号: | 201711219518.4 | 申请日: | 2017-11-28 |
公开(公告)号: | CN107946372B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 乔明;齐钊;肖家木;王正康;毛焜;张波 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学;上海晶丰明源半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/87 | 分类号: | H01L29/87 |
代理公司: | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人: | 敖欢;葛启函 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供一种用于ESD防护的可控硅整流器,包括:p型衬底、nwell区、横跨nwell区与pwell区交界处的低触发区,设置在nwell区表面的至少一个N+P+区单元,设置在所述pwell区表面的至少一个P+N+区单元,任意一个N+P+区单元中的N+区与P+区相切,相邻的两个N+P+区单元相切;低触发区的一侧相切于至少一个N+P+区单元中最右侧的P+区的右侧,或者相切于至少一个P+N+区单元中最左侧的N+区的左侧,且低触发区不同时相切于所述N+P+区单元和所述P+N+区单元,本发明提出的一种ESD用SCR阴极优化结构对于实现电流能力最大化,抗Latch‑up效应有着明显的优势。 | ||
搜索关键词: | 用于 esd 防护 可控 硅整流器 | ||
【主权项】:
一种用于ESD防护的可控硅整流器,其特征在于:所述可控硅整流器包括P型衬底、设置在P型衬底上的nwell区和与所述nwell区右边缘相切的pwell区、横跨所述nwell区与所述pwell区交界处的低触发区,设置在所述nwell区表面的至少一个N+P+区单元,以及设置在所述pwell区表面的至少一个P+N+区单元,设置在所述至少一个N+P+区单元上的阳极和设置在所述至少一个P+N+区单元上的阴极;所述至少一个N+P+区单元中最左侧N+区的左侧与所述nwell区的左侧边缘相切,任意一个所述N+P+区单元中的N+区与P+区相切,相邻的两个所述N+P+区单元相切;所述至少一个P+N+区单元中最右侧P+区的右侧与所述pwell区的右侧边缘相切,任意一个所述P+N+区单元中的P+区与N+区相切,相邻的两所述P+N+区单元相切;所述低触发区的一侧相切于所述至少一个N+P+区单元中最右侧的P+区的右侧,或者所述低触发区的一侧相切于所述至少一个P+N+区单元中最左侧的N+区的左侧,且所述低触发区不同时相切于所述至少一个N+P+区单元和所述至少一个P+N+区单元。
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