[发明专利]一种两维物理量并行检测的MEMS传感器有效
| 申请号： | 201711220492.5 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108225203B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 郑天祥;陈硕;雷林绪;邓占锋;李璐;刘占元;牛晓晨 | 申请（专利权）人： | 全球能源互联网研究院有限公司;国网江苏省电力有限公司;国家电网公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B15/06 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 102209 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种两维物理量并行检测的MEMS传感器，所述两维物理量为微音和温度，所述MEMS传感器包括：微音传感器和温度传感器；两传感器并联；所述微音传感器为悬臂梁数目大于一的微音传感器。本发明提供的MEMS传感器，采用多梁结构悬臂梁更有利于光声光谱长期稳定的工作，可利用不同灵敏度悬臂梁的强度和硬度不同的特性，当灵敏度较高的悬臂梁因声压太大发生断裂时，依然可以选择其他悬臂梁作为微音器继续检测，实现传感器灵敏度和可靠性的统一；融合了温度传感器有利于消除温度对悬臂梁微音器检测的误差，提高了光声光谱检测的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理量 并行 检测 mems 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种两维物理量并行检测的MEMS传感器，其特征在于，所述两维物理量为微音和温度，所述MEMS传感器包括：微音传感器和温度传感器；两传感器并联；所述微音传感器为悬臂梁数目大于一的微音传感器。
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