[发明专利]影像感测器装置

摘要

本发明实施例涉及一种影像感测器装置，影像感测器装置包括半导体基板、隔离结构、反射栅、第一滤色器及第二滤色器。半导体基板具有第一感光区及第二感光区，第二感光区邻近第一感光区；隔离结构位于半导体基板中且围绕第一感光区及第二感光区，其中隔离结构隔开第一感光区及第二感光区；反射栅位于隔离结构上且围绕第一感光区及第二感光区，其中反射栅的第一部分位于第一感光区及第二感光区间，且第一部分具有第一沟槽；第一滤色器位于第一感光区上且延伸进入第一沟槽中；第二滤色器位于第二感光区上且延伸进入第一沟槽中，以在第一沟槽中直接接触第一滤色器。

主权项

1.一种影像感测器装置，包括：一半导体基板，具有一第一感光区及一第二感光区，该第二感光区邻近该第一感光区；一隔离结构，位于该半导体基板中且围绕该第一感光区及该第二感光区，其中该隔离结构隔开该第一感光区及该第二感光区；一反射栅，位于该隔离结构上且围绕该第一感光区及该第二感光区，其中该反射栅的一第一部分位于该第一感光区及该第二感光区间，且该第一部分具有一第一沟槽；一第一滤色器，位于该第一感光区上且延伸进入该第一沟槽中；以及一第二滤色器，位于该第二感光区上且延伸进入该第一沟槽中，以在该第一沟槽中直接接触该第一滤色器。