[发明专利]用于支承基板的吸盘模块和包括该吸盘模块的探针台

摘要

本发明公开了一种吸盘模块。该吸盘模块包括：吸盘板，用于支承基板，该吸盘板包括位在其中央部的对位孔；连接板，设置在吸盘板下面，该连接板包括第一真空孔和第一对位销，第一真空孔用于真空吸附吸盘板，第一对位销被插入到对位孔中，用于使连接板对齐吸盘板；以及加热单元，设置在连接板下面并且与连接板相互连接，该加热单元配置成加热吸盘板。由于能够利用真空将该吸盘板固定地连接到连接板，因此能够容易地附装、拆卸、更换、以及组装吸盘板。

主权项

一种吸盘模块，用于支承基板，所述吸盘模块包括：吸盘板，用于支承基板，所述吸盘板包括位在其中央部的对位孔；连接板，设置在所述吸盘板下方，所述连接板包括第一真空孔和第一对位销，所述第一真空孔用于真空吸附所述吸盘板，所述第一对位销被插入到所述对位孔中，用于使所述连接板对齐所述吸盘板；以及加热单元，设置在所述连接板下方并且与所述连接板连接，所述加热单元配置成加热所述吸盘板。