[发明专利]膜片、使用膜片的压力传感器、膜片的制造方法有效
| 申请号： | 201711225821.5 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108120545B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 小林智生;菅原量 | 申请（专利权）人： | 精工电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;刘林华 |
| 地址： | 日本千叶*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供没有气体的泄漏风险，耐久性高的膜片、以及使用了该膜片的压力传感器。本发明是包括平板形状的受压部(101a)、以及框状的支撑部(101b)的金属制的膜片(101)，其特征在于，受压部(101a)具有相对于平板形状的受压部(101a)的平板面平行地发展的金属组织。 | ||
| 搜索关键词： | 膜片 使用 压力传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种膜片，其是包括平板形状的受压部、以及框状的支撑部的金属制的膜片，其特征在于，所述受压部具有相对于所述平板形状的受压部的平板面平行地发展的金属组织。
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