[发明专利]显影液的浓度监视装置及显影液管理装置在审
| 申请号： | 201711232885.8 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108345185A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 中川俊元 | 申请（专利权）人： | 株式会社平间理化研究所 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/32;G03D3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王婷 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供显影液的浓度监视装置及显影液管理装置。它们具备密度仪，用于测定显影液的密度。与碱成分等其它成分的浓度无关地在显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间具有良好的对应关系。浓度监视装置基于密度的测定值，根据显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的对应关系算出吸收二氧化碳浓度。警报机构在由运算机构算出的显影液的吸收二氧化碳浓度值偏离预先设定的管理范围时发出警报。显影液管理装置使用显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的对应关系，基于显影液的测定出的密度值或算出的吸收二氧化碳浓度值，以使显影液的吸收二氧化碳浓度成为规定的管理值或管理值以下的方式向显影液补给补充液，由此管理显影液的吸收二氧化碳浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 二氧化碳 吸收 显影液管理装置 浓度监视 管理 警报机构 运算机构 补充液 密度仪 补给 警报 偏离 | ||
【主权项】：
1.一种显影液的浓度监视装置，其中，所述显影液的浓度监视装置具备：密度仪；运算机构，其基于由所述密度仪测定出的显现碱性的显影液的密度值，根据所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系来算出所述显影液的吸收二氧化碳浓度；以及警报机构，其在由所述运算机构算出的所述显影液的吸收二氧化碳浓度值偏离预先设定的管理范围时发出警报。
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