[发明专利]压印模板的制造方法有效
| 申请号： | 201711233309.5 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108008598B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 侯俊 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例所述提供的压印模板的制造方法，通过在基板的表面设置分隔条，在分隔条的上表面和侧壁设置压印层，覆盖所述基板的表面的压印层的厚度小于所述分隔条的高度，随后除去分隔条的上表面的压印层和分隔条，使得原来覆盖在分隔条的侧壁的压印层形成了压印条，所述压印条之间的线间距小于分隔条之间的线间距，得到了用于制造具有较小的光栅线间距的光栅的压印模板。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 模板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压印模板的制造方法，包括：提供一模板，所述模板包括一基板和间隔设置于基板的表面的若干分隔条；设置一压印层，所述压印层覆盖所述基板的表面、分隔条的上表面和侧壁，覆盖所述基板的表面的压印层的厚度小于所述分隔条的高度，得到一第一半成品；除去所述分隔条的上表面的压印层，得到一第二半成品；以及除去所述分隔条，以使得所述压印层在基板的表面形成压印条，从而得到所述压印模板。
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