[发明专利]一种快速制备氧化锆薄膜的低温液相方法在审
| 申请号： | 201711233373.3 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107902694A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 夏国栋;涂广升;王素梅 | 申请（专利权）人： | 齐鲁工业大学 |
| 主分类号： | C01G25/02 | 分类号： | C01G25/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 250333 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于材料、化学及化工领域，特别涉及一种快速制备氧化锆薄膜的低温液相方法。包括如下步骤称取硝酸氧锆，量取溶剂，配置浓度为0.01‑0.5摩尔/升的氧化锆前驱体溶液，经过0.1‑3小时的磁力搅拌和超声分散形成澄清透明的氧化锆前驱体溶液；(2)将氧化锆前驱体溶液涂覆到清洗好的衬底上形成氧化锆前驱体薄膜，经过0.5‑4.9分钟的光波退火，光波退火过程中的温度为100‑300℃；涂覆和退火可重复多次以得到不同厚度要求的氧化锆薄膜。本发明所得氧化锆薄膜性能高，在晶体管、太阳能电池、电容器等器件中有重要应用前景。通过本发明的工艺可以避免通常的高温溶液工艺、工艺周期长或昂贵设备等，成本低，适合工业化大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 制备 氧化锆 薄膜 低温 方法 | ||
【主权项】：
一种快速制备氧化锆薄膜的低温液相方法，其特征在于包括如下步骤：(1) 制备氧化锆前驱体溶液：称取硝酸氧锆，量取溶剂，配置浓度为0.01‑0.5摩尔/升的氧化锆前驱体溶液，经过0.1‑3小时的磁力搅拌和超声分散形成澄清透明的氧化锆前驱体溶液；(2) 将氧化锆前驱体溶液涂覆到清洗好的衬底上形成氧化锆前驱体薄膜，经过0.5‑4.9分钟的光波退火，光波退火过程中的温度为100‑300 ℃；(3) 步骤1和2可重复多次以得到不同厚度要求的氧化锆薄膜。
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