[发明专利]利用太赫兹波对非金属材料的厚度进行测量的方法和系统有效
| 申请号： | 201711233541.9 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108020165B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 俞跃;郝元;王强 | 申请（专利权）人： | 中国特种设备检测研究院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/41 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 陶敏;黄健 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明提供一种利用太赫兹波对非金属材料的厚度进行测量的方法和系统。本发明的方法包括：使太赫兹波垂直入射至非金属材料的表面，太赫兹波经非金属材料的表面和底面反射分别形成第一和第二反射信号，接收第一和第二反射信号，获得两次反射信号的接收时间差ΔT |
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| 搜索关键词： | 利用 赫兹 非金属材料 厚度 进行 测量 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种利用太赫兹波对非金属材料的厚度进行测量的方法，其特征在于，所述非金属材料具有表面和底面，所述方法包括如下步骤：使太赫兹波垂直入射至所述非金属材料的表面，太赫兹波经非金属材料的表面和底面反射分别形成第一反射信号和第二反射信号，接收第一反射信号和第二反射信号，获得第一反射信号与第二反射信号的接收时间差ΔT1 ；使太赫兹波以角度θi 入射至所述非金属材料的表面，太赫兹波经非金属材料的表面和底面反射分别形成第三反射信号和第四反射信号，接收第三反射信号和第四反射信号，获得第三反射信号与第四反射信号的接收时间差ΔT2 ，其中0°<θi <90°；根据接收时间差ΔT1 和接收时间差ΔT2 ，得到所述非金属材料的折射率n；根据所述非金属材料的折射率n，得到所述非金属材料的厚度d。
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