[发明专利]显影装置在审
| 申请号： | 201711234725.7 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108345169A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 中川俊元 | 申请（专利权）人： | 株式会社平间理化研究所 |
| 主分类号： | G03D3/00 | 分类号： | G03D3/00;G03F7/30;G03F7/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王婷 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够维持所期望的显影性能并维持基板上的布线图案的所期望的线宽及剩余膜厚的显影装置。显影装置具备：显影液调制装置，其将包含显现碱性的显影液的主成分的显影原液与纯水混合，而调制浓度被设定好的所述显影液作为显影新液；显影新液用管路，其输送从所述显影液调制装置向反复使用的所述显影液补给的所述显影新液；显影原液用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的所述显影原液；纯水用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的纯水；以及显影液管理装置，其以使所述反复使用的所述显影液的碱成分浓度或所述显影液的导电率成为规定的管理值或落入规定的管理范围的方式进行管理。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 显影原液 显影装置 显影 新液 补给 调制装置 显影液管理装置 布线图案 显影性能 导电率 期望 基板 膜厚 线宽 调制 管理 | ||
【主权项】：
1.一种显影装置，其中，所述显影装置具备：显影液调制装置，其将包含显现碱性的显影液的主成分的显影原液与纯水混合，而调制浓度被设定好的所述显影液作为显影新液；显影新液用管路，其输送从所述显影液调制装置向反复使用的所述显影液补给的所述显影新液；显影原液用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的所述显影原液；纯水用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的纯水；以及显影液管理装置，其以使所述反复使用的所述显影液的碱成分浓度或所述显影液的导电率成为规定的管理值或落入规定的管理范围的方式进行管理。
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