[发明专利]显影液管理装置在审
| 申请号： | 201711234783.X | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108345186A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 中川俊元 | 申请（专利权）人： | 株式会社平间理化研究所 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王婷 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供显影液管理装置，能够实现可维持期望的显影性能且可维持基板上的布线图案的期望的线宽及剩余膜厚的显影处理，并且监视显影液的导电率、溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度。具备控制机构及警报机构，控制机构具备：数据存储部，存储有导电率数据，该导电率数据按照以所述溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的所述显影液的导电率值；及控制部，将所确定的浓度区域的导电率值作为控制目标值，以使所述导电率成为控制目标值的方式向控制阀发送信号，警报机构在所述导电率、溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度中的至少任一方偏离设定的管理范围时发出警报。 | ||
| 搜索关键词： | 导电率 光致抗蚀剂 二氧化碳 显影液管理装置 溶解 警报机构 浓度区域 显影性能 显影液 吸收 数据存储部 布线图案 发送信号 显影处理 控制阀 期望 基板 膜厚 线宽 警报 存储 偏离 监视 管理 | ||
【主权项】：
1.一种显影液管理装置，其中，所述显影液管理装置具备控制机构及警报机构，所述控制机构具备：数据存储部，其存储有导电率数据，该导电率数据按照以反复使用且显现碱性的显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的所述显影液的导电率值；以及控制部，其将根据所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值而确定的浓度区域的存储于所述数据存储部的所述导电率值作为控制目标值，以使所述显影液的导电率成为所述控制目标值的方式向控制阀发送控制信号，所述控制阀设置在输送向所述显影液补给的补充液的管路上，所述警报机构在所述显影液的导电率、溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度中的至少任一方偏离设定的管理范围时发出警报。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社平间理化研究所，未经株式会社平间理化研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711234783.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
