[发明专利]一种冷泵再生控制方法、装置及半导体加工设备有效
| 申请号： | 201711236067.5 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109854491B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 张鹤南;杨洋;董博宇;徐宝岗;刘绍辉;武学伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06;F04B37/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;罗瑞芝 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种冷泵再生控制方法、装置及半导体加工设备。冷泵再生控制方法包括以下步骤：步骤S1，至少一个冷泵接收到冷泵再生指令后开始再生；步骤S2，在冷泵再生时，监控所述冷泵的再生状态，若所述冷泵结束排气，则终止所述冷泵的再生；步骤S3，所述冷泵申请干泵的使用权，所述干泵的数量小于或等于所述冷泵的数量；步骤S4，若所述冷泵获得所述干泵的使用权，则再次开始所述冷泵的再生；步骤S5，监控所述冷泵的再生状态，若所述冷泵开始降温，则释放所述干泵的使用权。该冷泵再生控制方法减少了冷泵再生过程中占用干泵的时间，缩短了半导体加工设备的维护时间，从而间接提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 再生 控制 方法 装置 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
1.一种冷泵再生控制方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1，至少一个冷泵接收到冷泵再生指令后开始再生；步骤S2，在所述冷泵再生时，监控所述冷泵的再生状态，若所述冷泵排气结束，则终止所述冷泵的再生；步骤S3，所述冷泵申请干泵的使用权，所述干泵的数量小于或等于所述冷泵的数量；步骤S4，若所述冷泵获得所述干泵的使用权，则再次开始所述冷泵的再生；若所述冷泵未获得所述干泵的使用权，则排队等待；步骤S5，监控所述冷泵的再生状态，若所述冷泵开始降温，则释放所述干泵的使用权。
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