[发明专利]一种基于纳米压印制备封闭多孔压电驻极体俘能器的方法

摘要

一种基于纳米压印制备封闭多孔压电驻极体俘能器的方法，先进行压印模具的制备及处理，再进行压电驻极体薄膜制备，然后进行压印及脱模，得到压电驻极体的孔状薄膜；再将多张孔状薄膜键合形成多层封闭多孔膜；进行电晕驻极，最后进行多层封闭多孔膜两端溅射工作电极，本发明封闭孔腔室能够极大提高电荷存储强度和稳定性，多层孔结构能提高力电转换效率，提高俘能器输出。

主权项

1.一种基于纳米压印制备封闭多孔压电驻极体俘能器的方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，压印模具的制备及处理：压印模具(1)采用光刻和刻蚀的工艺，在硅片上制作微孔阵列，进行低表面能处理，防止脱模时损伤微阵列结构；第二步，压电驻极体薄膜制备：基材(2)采用柔性聚酰亚胺膜(PI膜)，利用匀胶机在基材(2)表面旋涂一层厚度为微米级别的压电驻极体溶液并在热板上把残余溶剂蒸干，形成压电驻极体薄膜(3)；第三步，压印及脱模：在烘箱中，以15Mpa的压力将第一步处理后的压印模具(1)压在第二步制备的压电驻极体薄膜(3)上，并把烘箱温度升至压电驻极体的融化态温度，20-40分钟后，冷却至室温，脱模，得到留在基材(2)上的压电驻极体的孔状薄膜(4)；接着将压电驻极体的孔状薄膜(4)从基材(2)上剥离，得到分离的压电驻极体的孔状薄膜(4)；第四步，多张孔状薄膜键合形成多层封闭多孔膜：将多张第三步制备的孔状薄膜(4)和连接封装用的驻极体平膜(5)在竖直方向对准后，加热至驻极体材料玻璃态转换温度后使用键合机键合，形成一整块多层封闭多孔膜；第五步，电晕驻极：将第四步制备的多层封闭多孔膜放在电晕设备(6)上进行高压放电，空气电离后注入到封闭多孔腔室内部两测，形成注入电荷；第六步，在第五步处理后的多层封闭多孔膜两端溅射工作电极(9)。