[发明专利]金刚石单晶生长装置及方法在审
申请号: | 201711243374.6 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN107955967A | 公开(公告)日: | 2018-04-24 |
发明(设计)人: | 刘晓晨;姜龙;郭辉;何奇宇 | 申请(专利权)人: | 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/04 | 分类号: | C30B29/04;C30B25/00 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所13120 | 代理人: | 郝伟 |
地址: | 050081 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明涉及晶体合成技术领域,提供了一种金刚石单晶生长装置及方法。所述装置包括沉积台和可升降中心柱;所述沉积台上设有沉积台孔,所述可升降中心柱上设有与所述沉积台孔配合的孔柱,所述孔柱设置在所述沉积台孔中。所述装置及方法能够有效地提高金刚石单晶生长质量,解决一次生长不了太厚的问题。 | ||
搜索关键词: | 金刚石 生长 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种金刚石单晶生长装置,其特征在于,包括:沉积台和可升降中心柱;所述沉积台上设有沉积台孔,所述可升降中心柱上设有与所述沉积台孔配合的孔柱,所述孔柱设置在所述沉积台孔中。
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