[发明专利]离子植入机以及将离子植入半导体衬底中的方法有效
| 申请号： | 201711244023.7 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108231514B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 林琮闵;简芳记;周宏昕;石兆立;李明星 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种离子植入机包括离解腔室，所述离解腔室位于所述离子植入机中。所述离解腔室具有用于接收气体的输入口及用于输出离子的输出口。真空腔室环绕所述离解腔室。多个磁性材料棒或板在所述离解腔室的至少两个侧上与所述离解腔室相邻。磁体磁性耦合至所述多个磁性材料棒或板。微波源被提供用于向所述离解腔室供应微波，以在所述离解腔室中引起电子回旋共振来将所述气体电离。本发明实施例的离子植入机可提高离子植入机的寿命及降低离子植入机的维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 以及 半导体 衬底 中的 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子植入机，其特征在于，包括：离解腔室，位于所述离子植入机中，所述离解腔室具有用于接收气体的输入口及用于输出离子的输出口；真空腔室，环绕所述离解腔室；多个磁性材料棒或板，在所述离解腔室的至少两个侧上与所述离解腔室相邻；磁体，磁性耦合至所述多个磁性材料棒或板；以及微波源，用于对所述离解腔室供应微波，以在所述离解腔室中引起电子回旋共振来将所述气体电离。
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