[发明专利]压电陶瓷激励装置及原子力显微镜、表面力场探测装置在审
| 申请号： | 201711244471.7 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109856428A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 师帅;郭丹;谭新峰;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 孙岩 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电陶瓷激励装置，包括：第一压电陶瓷、第一垫片以及第二压电陶瓷组件层叠设置，第一垫片设置于第一压电陶瓷与第二压电陶瓷组件之间；第一压电陶瓷用于接收第一电信号，并在第一电信号激励下进行纵向挠曲振动；第二压电陶瓷组件用于接收第二电信号组，并在第二电信号组激励下进行横向扭转振动。通过采用压电陶瓷堆叠方式，利用不同电信号对压电陶瓷激励装置中不同的压电陶瓷进行激励，使得压电陶瓷激励装置可同时进行横向和纵向的合振动。该压电陶瓷激励装置可用于原子力显微镜，使其进行横向和纵向的非接触相互作用力的测量，从而增加原子力显微镜的空间分辨率。本发明还公开了一种原子力显微镜、表面力场探测装置及探测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 压电陶瓷 激励装置 原子力显微镜 压电陶瓷组件 场探测装置 电信号组 表面力 垫片 电信号激励 空间分辨率 层叠设置 堆叠方式 扭转振动 纵向挠曲 非接触 可用 测量 探测 | ||
【主权项】：
1.一种压电陶瓷激励装置，其特征在于，所述压电陶瓷激励装置包括：第一压电陶瓷(102)、第二压电陶瓷组件(103)及第一垫片(101)；所述第一压电陶瓷(102)、所述第一垫片(101)以及所述第二压电陶瓷组件(103)层叠设置，所述第一垫片(101)设置于所述第一压电陶瓷(102)与第二压电陶瓷组件(103)之间；所述第一压电陶瓷(102)用于接收第一电信号，并在所述第一电信号激励下进行纵向挠曲振动；所述第二压电陶瓷组件(103)用于接收第二电信号组，并在所述第二电信号组激励下进行横向扭转振动。
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