[发明专利]改进型调节锁紧装置有效
| 申请号： | 201711244930.1 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109848691B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 管博然;李志龙;张志钢 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P19/10 | 分类号： | B23P19/10;B23P19/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种调节锁紧装置，包括：与所述微动电机连接的定位簧片；一调节单元，所述调节单元通过调节所述定位簧片的垂向高度以调整所述微动电机的垂向位置；一锁紧单元，所述锁紧单元通过锁紧所述定位簧片以锁紧所述微动电机；一配合单元，所述配合单元转移所述定位簧片施加至所述调节单元和所述锁紧单元的反作用力。本发明在实现微动电机的高度和水平度调节与锁紧的同时，将调节锁紧作业时产生的反作用力作用于自身机构壳体上，减小了对粗动壳体的影响，提升了运动台的可靠性。通过改进调节锁紧装置的结构，减小了垂向尺寸，提高了调节精度。 | ||
| 搜索关键词： | 改进型 调节 装置 | ||
【主权项】：
1.一种调节锁紧装置，用于调整微动电机的垂向位置及锁紧，其特征在于，包括：与所述微动电机连接的定位簧片；调节单元，所述调节单元通过调节所述定位簧片的垂向高度以调整所述微动电机的垂向位置；锁紧单元，所述锁紧单元通过锁紧所述定位簧片以锁紧所述微动电机；配合单元，所述配合单元将所述调节单元与锁紧单元固定于一机构壳体，并将调节和锁紧的反作用力传递到所述机构壳体上。
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