[发明专利]防转装置、运动台系统与光刻设备有效
| 申请号： | 201711246262.6 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109856920B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 赵灿武 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种防转装置、运动台系统与光刻设备，所述防转装置，连接于工件台与线缆台之间，用于限制工件台相对线缆台绕垂直工件台所在平面的轴发生非预期角度旋转运动，防转装置包括交叉伸缩连杆组件，交叉伸缩连杆组件的两端分别与工件台与线缆台转动连接；工件台沿第一方向运动时，交叉伸缩连杆组件能够沿相同方向压缩或伸展，交叉伸缩连杆组件与工件台和线缆台的连接位置在第二方向上保持不变，第一方向为工件台与线缆台之间最短连线方向，第二方向在同一平面内与第一方向垂直。本发明交叉伸缩连杆组件伸缩时，其与工件台和线缆台的连接位置保持不变，避免因连接点沿非伸缩方向运动对运动台的运动造成阻力。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 运动 系统 光刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种防转装置，连接于工件台与线缆台之间，用于限制工件台相对线缆台绕垂直工件台所在平面的轴发生非预期角度旋转运动，其特征在于，所述防转装置包括交叉伸缩连杆组件，所述交叉伸缩连杆组件的两端分别与工件台与线缆台转动连接；所述工件台沿第一方向运动时，所述交叉伸缩连杆组件能够沿相同方向压缩或伸展，所述交叉伸缩连杆组件与工件台和线缆台的连接位置在第二方向上保持不变，所述第一方向为工件台与线缆台之间连线方向，所述第二方向在同一平面内与第一方向垂直。
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