[发明专利]一种全增透嵌入式纳米复合透镜的电润湿调控成形方法

摘要

本发明涉及微透镜制造技术，具体是一种全增透嵌入式纳米复合透镜的电润湿调控成形方法。本发明解决了现有微透镜制造方法无法制造出全表面增透的微透镜的问题。一种全增透嵌入式纳米复合透镜的电润湿调控成形方法，该方法是采用如下步骤实现的：S1：选取热氧化高掺杂硅晶圆；S2：形成第一单层纳米粒子薄膜；S3：施加聚合物液滴；S4：聚合物液滴变形成为液态透镜；S5：将电极从液态透镜中抽出；S6：液态透镜固化成为固态透镜；S7：将纳米粒子悬浮液中的纳米粒子捕捞至固态透镜的曲面；S8：形成第二单层纳米粒子薄膜；S9：在固态透镜的曲面形成纳米锥阵列结构；S10：去除第二单层纳米粒子薄膜；S11：将固态透镜剥离下来。本发明适用于微透镜的制造。

主权项

1.一种全增透嵌入式纳米复合透镜的电润湿调控成形方法，该方法是采用如下步骤实现的：/nS1：选取热氧化高掺杂硅晶圆（1），并对热氧化高掺杂硅晶圆（1）进行预处理；然后，采用步进提拉法将纳米粒子悬浮液（2）中的纳米粒子捕捞至热氧化高掺杂硅晶圆（1）的表面；/n其特征在于：该方法还包括如下步骤：/nS2：在热氧化高掺杂硅晶圆（1）的表面形成第一单层纳米粒子薄膜（3），并对第一单层纳米粒子薄膜（3）进行低表面能处理；/nS3：采用数字微量注射器（4）在第一单层纳米粒子薄膜（3）的表面施加聚合物液滴（5）；/nS4：选取交流电源（6）和电极（7），并将交流电源（6）的两端分别与电极（7）和热氧化高掺杂硅晶圆（1）的导电面连接；然后，将电极（7）插入聚合物液滴（5）中，并接通交流电源（6），由此使得聚合物液滴（5）在电场作用下变形成为液态透镜（8），同时使得液态透镜（8）对第一单层纳米粒子薄膜（3）的表面实现微观浸润，进而使得第一单层纳米粒子薄膜（3）嵌入液态透镜（8）的平面；/nS5：断开交流电源（6），并将电极（7）从液态透镜（8）中抽出；/nS6：采用紫外灯箱对液态透镜（8）进行辐照，由此使得液态透镜（8）固化成为固态透镜（9）；/nS7：采用自组装方法将纳米粒子悬浮液（2）中的纳米粒子捕捞至固态透镜（9）的曲面；/nS8：在固态透镜（9）的曲面形成第二单层纳米粒子薄膜（10）；/nS9：以第二单层纳米粒子薄膜（10）为掩蔽层，采用反应离子刻蚀方法对固态透镜（9）的曲面进行亚微米刻蚀加工，由此在固态透镜（9）的曲面形成纳米锥阵列结构（11）；/nS10：去除第二单层纳米粒子薄膜（10）；/nS11：采用真空吸附法将固态透镜（9）剥离下来，由此得到全增透嵌入式纳米复合透镜。/n