[发明专利]等离子体压力传感器及等离子体压力传感系统有效
| 申请号： | 201711248973.7 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107727310B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 李帆;杜娟;王偲臣;李继超;张宏武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院工程热物理研究所 |
| 主分类号： | G01L23/16 | 分类号： | G01L23/16;G01L27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种等离子体压力传感器，包括放电电极，所述放电电极包括：裸露金属电极、掩埋金属电极和绝缘阻挡介质，其中，所述绝缘阻挡介质位于所述裸露金属电极和掩埋金属之间，且裸露金属电极为环状电极，该环状电极的内环在交流电源的驱动下，产生有等离子体。同时，本发明还提供了一种等离子体压力传感系统。当本发明应用于压气机时，具有高频响应特性，能够增大可测量的气压量程范围，另外，本发明中的等离子体产生在内环之中，而不是直接击穿空气产生等离子体，因此，本发明的适用气压范围更广。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 压力传感器 压力 传感 系统 | ||
【主权项】：
一种等离子体压力传感器，包括放电电极，所述放电电极包括：裸露金属电极、掩埋金属电极和绝缘阻挡介质，其中，所述绝缘阻挡介质位于所述裸露金属电极和掩埋金属之间，且裸露金属电极为环状电极，该环状电极的内环在交流电源的驱动下，产生有等离子体。
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