[发明专利]一种用于平面度测量时的高度补偿方法在审
| 申请号： | 201711257692.8 | 申请日： | 2017-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109870132A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 班猛飞;张晋 | 申请（专利权）人： | 深圳市盛世智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市宝安区石岩街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于平面度测量时的高度补偿方法，用于在平面测量时对测量设备的自身的平面度的补偿，所述测量设备包括X轴,Y轴，测量头，大理石平台，所述X轴和Y轴组成十字滑台，测量头固定于十字滑台上，其具体的测量方法为：a.将大理石平台置于测量头正下方，十字滑台带着测量头在大理石平台上取n个点（n≥2），获得测量头至大理石平台上n个点的距离，其距离值为X1，X2，……Xn；b.取走大理石平台，将待测产品正下方，十字滑台带着测量头在待测产品上取n个点（n≥2），获得测量头至待测产品上n个点的距离，其距离值为Y1，Y2，……Yn；c.将两次测得的值进行求差，获得差值X1‑Y1，X2‑Y2，……Xn‑Yn；d.对获得差值用最小二乘法求得待测产品的平面度。 | ||
| 搜索关键词： | 测量头 大理石平台 待测产品 十字滑台 平面度测量 测量设备 高度补偿 平面度 最小二乘法 平面测量 求差 测量 | ||
【主权项】：
1.一种用于平面度测量时的高度补偿方法，用于在平面测量时对测量设备的自身的平面度的补偿，所述测量设备包括X轴（2）,Y轴（3），测量头（4），所述X轴（2）和Y轴（3）组成十字滑台（6），测量头（4）固定于十字滑台（6）上，其特征在于：还包括大理石平台（1），其具体的测量方法为：a.将大理石平台（1）置于测量头（4）正下方，十字滑台（6）带着测量头（4）在大理石平台（1）上取n个点（n≥2），获得测量头（4）至大理石平台（1）上n个点的距离，其距离值为X1，X2，……Xn；b.取走大理石平台（1），将待测产品（5）正下方，十字滑台（6）带着测量头（4）在待测产品（5）上取n个点（n≥2），获得测量头（4）至待测产品（5）上n个点的距离，其距离值为Y1，Y2，……Yn；c.将两次测得的值进行求差，获得差值X1‑Y1，X2‑Y2，……Xn‑Yn；d.对获得差值用最小二乘法求得待测产品（5）的平面度。
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