[发明专利]氧化锌/氧化镓核壳微米线及其制备方法、日盲紫外探测器在审
申请号: | 201711260195.3 | 申请日: | 2017-12-04 |
公开(公告)号: | CN107978657A | 公开(公告)日: | 2018-05-01 |
发明(设计)人: | 王飞;赵斌;王云鹏;赵东旭 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0296;H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/102 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 张雪娇,赵青朵 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供了一种氧化锌/氧化镓核壳微米线的制备方法,包括S1)将氧化锌、氧化镓与碳混合研磨,得到混合粉末;S2)以所述混合粉末为原料,在设置有氧化锌籽晶层的衬底上进行第一次化学气相沉积,生长氧化锌微米线;然后继续升温,进行第二次化学气相沉积在氧化锌微米线上生长氧化镓,得到氧化锌/氧化镓核壳微米线。与现有技术相比,本发明一次性放入反应原料,依靠材料生长温度的不同,首先制备氧化锌核层,然后外延生长一层β‑氧化镓单晶薄膜作为壳层,避免了表面态和缺陷的产生,其尺寸可实现肉眼下的手工操作,方便了电极的引入和器件的制备;同时由于核层与壳层分别实现不同的分工与功能,更易实现较高的响应度与较快的响应速度。 | ||
搜索关键词: | 氧化锌 氧化 镓核壳 微米 及其 制备 方法 紫外 探测器 | ||
【主权项】:
一种氧化锌/氧化镓核壳微米线的制备方法,其特征在于,包括:S1)将氧化锌、氧化镓与碳混合研磨,得到混合粉末;S2)以所述混合粉末为原料,在设置有氧化锌籽晶层的衬底上进行第一次化学气相沉积,生长氧化锌微米线;然后继续升温,进行第二次化学气相沉积,在氧化锌微米线上生长氧化镓,得到氧化锌/氧化镓核壳微米线。
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H01 基本电气元件
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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