[发明专利]氧化锌/氧化镓核壳微米线及其制备方法、日盲紫外探测器在审

专利信息
申请号: 201711260195.3 申请日: 2017-12-04
公开(公告)号: CN107978657A 公开(公告)日: 2018-05-01
发明(设计)人: 王飞;赵斌;王云鹏;赵东旭 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0296;H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/102
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司11227 代理人: 张雪娇,赵青朵
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供了一种氧化锌/氧化镓核壳微米线的制备方法,包括S1)将氧化锌、氧化镓与碳混合研磨,得到混合粉末;S2)以所述混合粉末为原料,在设置有氧化锌籽晶层的衬底上进行第一次化学气相沉积,生长氧化锌微米线;然后继续升温,进行第二次化学气相沉积在氧化锌微米线上生长氧化镓,得到氧化锌/氧化镓核壳微米线。与现有技术相比,本发明一次性放入反应原料,依靠材料生长温度的不同,首先制备氧化锌核层,然后外延生长一层β‑氧化镓单晶薄膜作为壳层,避免了表面态和缺陷的产生,其尺寸可实现肉眼下的手工操作,方便了电极的引入和器件的制备;同时由于核层与壳层分别实现不同的分工与功能,更易实现较高的响应度与较快的响应速度。
搜索关键词: 氧化锌 氧化 镓核壳 微米 及其 制备 方法 紫外 探测器
【主权项】:
一种氧化锌/氧化镓核壳微米线的制备方法,其特征在于,包括:S1)将氧化锌、氧化镓与碳混合研磨,得到混合粉末;S2)以所述混合粉末为原料,在设置有氧化锌籽晶层的衬底上进行第一次化学气相沉积,生长氧化锌微米线;然后继续升温,进行第二次化学气相沉积,在氧化锌微米线上生长氧化镓,得到氧化锌/氧化镓核壳微米线。
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