[发明专利]基于精密平台进行掩膜版图像的快速匹配方法及系统在审
| 申请号： | 201711261275.0 | 申请日： | 2017-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN107958454A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘建明;刘庄;张彦鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏维普光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/32 |
| 代理公司： | 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙)32308 | 代理人： | 肖兴坤 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于精密平台进行掩膜版图像的快速匹配方法及系统，其中本快速匹配方法包括以运动平台作为参考主体，统计掩膜版中每个条带匹配的坐标数据，并作为下个条带匹配的基本依据，以及重复此过程，直至整个版面的条带扫描完成，即实现掩膜版图像的快速匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 精密 平台 进行 版图 快速 匹配 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种掩膜版图像的快速匹配方法，其特征在于，包括：以运动平台作为参考主体，统计掩膜版中每个条带匹配的坐标数据，并作为下个条带匹配的基本依据，以及重复此过程，直至整个版面的条带扫描完成，即实现掩膜版图像匹配。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏维普光电科技有限公司，未经江苏维普光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711261275.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
