[发明专利]基于图像灰度值的掩膜版光学缺陷检测方法

摘要

本发明公开了一种基于图像灰度值的掩膜版光学缺陷检测方法，方法的步骤中含有：在相机界面上采集实际图的亮区数据和暗区数据；利用相机平场校正功能，对实际图进行相机视场的亮度校正，保证一个视场内的亮区和暗区的灰度值分别保值，并保持尽可能一致；在实际图的标定版上选择一个暗区，标定灰度值为V1；在实际图的标定版上选择一个亮区，标定灰度值为V2；然后将暗区的标定灰度值V1和亮区的标定灰度值V2记录到Recipe模板中，作为后续mask检测参数，并且后续mask检测参数直接作用于标准图生成位图的灰度值，使实际图的灰度值和标准图的灰度值保持尽可能一致；待配准后，实际图和标准图进行绝对相减操作，进而判断实际图上是否存在缺陷。本发明通过该方法可以提高缺陷检测精度，检测效果好。

主权项

1.一种基于图像灰度值的掩膜版光学缺陷检测方法，其特征在于方法的步骤中含有：步骤S01：提供一掩膜版的实际图和标准图，并在相机界面上采集实际图的亮区数据和暗区数据；步骤S02：利用相机平场校正功能，对实际图进行相机视场的亮度校正，保证一个视场内的亮区和暗区的灰度值分别保值，并保持尽可能一致；步骤S03：在实际图的标定版上选择一个暗区，标定灰度值为V1；在实际图的标定版上选择一个亮区，标定灰度值为V2；然后将暗区的标定灰度值V1和亮区的标定灰度值V2记录到Recipe模板中，作为后续mask检测参数，并且后续mask检测参数直接作用于标准图生成位图的灰度值，使实际图的灰度值和标准图的灰度值保持尽可能一致；步骤S04：待配准后，实际图和标准图进行绝对相减操作，进而判断实际图上是否存在缺陷。