[发明专利]五自由度精密调节台

摘要

本发明公开了一种五自由度精密调节台，包括：调节台主体，其包括第一转板、第一滑板、第二滑板、第二转板、第三转板和底板；θy方向舵机组件，其包括θy方向舵机和θy方向调节机构；X方向舵机组件，其包括X方向舵机和X方向调节机构；Z方向舵机组件，其包括Z方向舵机和Z方向调节机构；θz方向舵机组件，其包括θz方向舵机和θz方向调节机构；θx方向舵机组件，其包括θx方向舵机和θx方向调节机构。本发明实现了调节台高精度五自由度的调节；本发明结构简单小巧，自锁性能好、稳定性高，能适应细长条负载，应用范围广，且调节精度高、控制简单、生产成本低，市场前景广阔。

主权项

一种五自由度精密调节台，其特征在于，包括：调节台主体，其包括由上至下依次设置的第一转板、第一滑板、第二滑板、第二转板、第三转板和底板；θy方向舵机组件，用于驱动所述第一转板绕Y轴方向转动，其包括θy方向舵机和θy方向调节机构；X方向舵机组件，用于驱动所述第一滑板沿X方向运动，其包括X方向舵机和X方向调节机构；Z方向舵机组件，用于驱动所述第二滑板沿Z方向运动，其包括Z方向舵机和Z方向调节机构；θz方向舵机组件，用于驱动所述第二转板绕Z轴方向转动，其包括θz方向舵机和θz方向调节机构；θx方向舵机组件，用于驱动所述第三转板绕X轴方向转动，其包括θx方向舵机和θx方向调节机构。