[发明专利]一种基于扫描电镜原位力学测试系统的光/力/电耦合测试装置及其测试方法有效
| 申请号： | 201711265405.8 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108051614B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 郑学军;李升峰;赵为;彭金峰;董辉 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 颜勇 |
| 地址： | 411105 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于扫描电镜原位力学测试系统的光/力/电耦合测试装置及其测试方法，原位力学测试系统包括力电双功能原位样品杆和系统控制器，力电双功能原位样品杆设置于扫描电镜的样品腔室内并与系统控制器电性连接；系统控制器与计算机电性连接；激光器设置于扫描电镜的外部；激光聚焦镜头设置于扫描电镜的样品腔室内并通过光纤与激光器连接，用于将光信号引入到力电双功能原位样品杆上。本发明基于压电光电子学理论，建立微纳米半导体材料光生载流子浓度与力电性能的关联，从而实现扫描电镜原位样品杆功能的扩展，真实反映微纳米半导体材料的光/力/电耦合性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描电镜 原位 力学 测试 系统 耦合 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于扫描电镜原位力学测试系统的光/力/电耦合测试装置，其特征在于：包括扫描电镜、原位力学测试系统、光纤过真空装置、激光器及激光聚焦镜头，其中；原位力学测试系统包括力电双功能原位样品杆和系统控制器，所述力电双功能原位样品杆设置于扫描电镜的样品腔室内并与所述系统控制器电性连接；系统控制器，与计算机电性连接；激光器，设置于扫描电镜的外部；光纤过真空装置，密封设置于扫描电镜的法兰上，内部密封穿装有光纤；激光聚焦镜头，设置于扫描电镜的样品腔室内，并通过所述光纤与激光器连接，用于将光信号引入到力电双功能原位样品杆上。
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