[发明专利]一种用于液晶面板制造的紫外LED曝光系统在审
申请号: | 201711266051.9 | 申请日: | 2017-12-05 |
公开(公告)号: | CN107765513A | 公开(公告)日: | 2018-03-06 |
发明(设计)人: | 江海波;杨若夫;尹韶云;孙秀辉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院;张家港奇点光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02F1/13 |
代理公司: | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)11531 | 代理人: | 李宏伟 |
地址: | 400714 重庆市北碚区水土镇方*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于液晶面板制造的紫外LED曝光系统,包括第一合束镜、第一类LED面光源和第二类LED面光源,第一类LED面光源包括第一基板、LED灯珠和与准直透镜,最左侧列的准直透镜和最右侧列的准直透镜之间的其他中间准直透镜与中间LED灯珠中心线重合,最左侧列的任意LED灯珠的中心线向左偏,最右侧列的任意LED灯珠的中心线向右侧偏,最前侧列的任意LED灯珠的中心线向前侧偏,最后侧列的任意LED灯珠的中心线向后侧偏。该紫外LED曝光系统采用至少两种波长的紫外LED作为光源,适用于液晶面板制造,不但获得与原汞灯曝光系统相当的高强度均匀照明,而且能确保目标面上各个位置的光谱强度更加均匀。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 液晶面板 制造 紫外 led 曝光 系统 | ||
【主权项】:
一种用于液晶面板制造的紫外LED曝光系统,其特征在于:包括第一合束镜、第一类LED面光源和第二类LED面光源,所述第一合束镜设置于目标面的上方且与目标面成45°夹角,所述第一类LED面光源位于第一合束镜的上方,第一类LED面光源发出的光线与第一合束镜的上表面的夹角为45°且穿透第一合束镜,所述第二类LED面光源位于第一合束镜的一侧面,所述第二类LED面光源发出的光线与第一合束镜的下表面的夹角为45°且通过下表面反射,所述第一类LED面光源和第二类LED面光源的结构相同但波段不同,所述第一类LED面光源包括第一基板、左右方向排成列的LED灯珠和与LED灯珠一一对应的若干个准直透镜,每列LED灯珠之间的前后排间距相等;最左侧列的LED灯珠和最右侧列的LED灯珠之间的其他列的中间LED灯珠之间的列间距相等且等于排间距,各准直透镜按照排间距矩形阵列,最左侧列的准直透镜和最右侧列的准直透镜之间的其他中间准直透镜与中间LED灯珠一一对应且中心线重合,最左侧列的LED灯珠和最左侧列的准直透镜一一对应,最左侧列的任意LED灯珠的中心线位于对应的准直透镜中心线的左侧,最右侧列的任意LED灯珠的中心线位于对应的准直透镜中心线的右侧,最前侧列的任意LED灯珠的中心线位于对应的准直透镜中心线的前侧,最后侧列的任意LED灯珠的中心线位于对应的准直透镜中心线的后侧。
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